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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本ulavc愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：HR1200
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
特征 可以將通過熱化CVD、蝕刻等在高溫區(qū)域 產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。 UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。 由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機(jī)，因此非常**。 瞬時(shí)停電對策 采取1000msec以內(nèi)的瞬時(shí)停電對策。 優(yōu)異的耐蝕性 主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時(shí)減少泵內(nèi)部的腐蝕。 通訊功能 可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
詳情介紹：
模型 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
使用的泵 DRP HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
公安部 ―――― ―――― PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*大
排氣速度 		50赫茲 米3 /小時(shí)
（升/分鐘） 		62 (1030) 112 (1860) 359 (5,980) 653 (10,900) 1,012 (16,900)
60赫茲 米3 /小時(shí)
（升/分鐘） 		80 (1333) 126 (2100) 365 (6,080) 701 (11,700) 1,051 (17,500)
達(dá)到壓力 帕 五 0.67
*大進(jìn)氣壓力
（進(jìn)氣壓力） 		大氣壓*1
*大排氣口壓力
（排氣壓力） 		帕 1～大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)格） VG50 (KF50) VG80 (KF50) VG80 (KF80) VG100 (KF100)
排氣口 KF40
大量的 公斤 180 245 275 370 420
電力 三相 VAC (赫茲) 200 (50/60), 220 (60)
當(dāng)前值 常規(guī)時(shí)間 一個(gè) 7.1 
（200V 時(shí)） 		11.2 
（200V 時(shí)） 		7.8 
（200V 時(shí)） 		12.9 
（200V 時(shí)） 		15.4 
（200V 時(shí)）
*大值 一個(gè) 7.3 
（200V 時(shí)） 		11.8 
（200V 時(shí)） 		8.1 
（200V 時(shí)） 		13.8 
（200V 時(shí)） 		18.9 
（200V 時(shí)）
臨時(shí)冷卻水壓力 兆帕 0.1～0.3
冷卻水進(jìn)/出口壓差 兆帕 > 0.1
冷卻水流量 升/分鐘 > 5.0
吹掃氣體 初級壓力 兆帕 0.1～0.5
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